The influence of composition on the solid state properties of anodic films on Al-Ta alloys

Risultato della ricerca: Conference contribution

Abstract

Microelectronics is very important for almost all kinds of technology evolutions in the past four decades. In this area, the dielectrics science occupies a prominent place in providing the dominant technology in integrated capacitors or gate insulators.
Lingua originaleEnglish
Titolo della pubblicazione ospiteASST 2015 VII Aluminium Surface Science & Technology
Numero di pagine1
Stato di pubblicazionePublished - 2015

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