Silicon nitride-based deep sub-λ slit for ultra-broadband THz coherent detection

Alessandro Tomasino, Alessandro Busacca, Matteo Clerici, Riccardo Piccoli, Sebastien Delprat, Alessandro Tomasino, Yoann Jestin, Yoann Jestin, Marco Peccianti, Roberto Morandotti, Mohamed Chaker, Luca Razzari

Risultato della ricerca: Conference contribution

Abstract

We report on the characterization of a new type of CMOS-compatible device for terahertz solid-state biased coherent detection, which relies on a 1-µm-wide metallic slit embedded in a thin film of PECVD-grown silicon nitride.
Lingua originaleEnglish
Titolo della pubblicazione ospiteCLEO 2018 - Proceedings
Numero di pagine2
Stato di pubblicazionePublished - 2018

All Science Journal Classification (ASJC) codes

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  • ???subjectarea.asjc.3100.3107???

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