Multi-bit storage through Si nanocrystals embedded in SiO2

Isodiana Crupi, De Salvo, Lombardo, Perniola, Corso, Melanotte, Isodiana Crupi, Ammendola, Gerardi

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Abstract

We have realized Si nanocrystal memory cells in which the Si dots have been deposited by CVD on SiO2 and then covered by a CVD control oxide. In this paper, we report a study on the potential of these cells for dual bit storage. © 2004 Elsevier B.V. All rights reserved.
Lingua originaleEnglish
pagine (da-a)411-414
Numero di pagine4
RivistaMicroelectronic Engineering
Volume72
Stato di pubblicazionePublished - 2004

All Science Journal Classification (ASJC) codes

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  • ???subjectarea.asjc.3100.3107???
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  • ???subjectarea.asjc.2500.2508???
  • ???subjectarea.asjc.2200.2208???

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