Electrical, chemical and morphological characterization of tantalum nitride thin film resistors deposited at low temperature by reactive sputtering for plastic electronic applications

Bruno Giuseppe Pignataro, Salvatore Di Marco

Risultato della ricerca: Articlepeer review

Lingua originaleEnglish
pagine (da-a)1-5
RivistaSurface and Interface Analysis
Volume2007
Stato di pubblicazionePublished - 2007

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